センサロールRとは

小型高性能力覚センサ(アクティブフォースRセンサ)をロールシャフトに組み込み、ピローユニットを必要とせず、微小張力を高速かつ高感度に計測可能な制御システムです

特許 第5393975号

導入実績

(株)表面処理システム・パナソニック(株)エナジー社・三容真空工業(株)
他フィルムメーカー・装置メーカー(敬称略)

導入理由ベスト3

  1. 高温・真空・プラズマなどの特殊環境での測定
  2. 微小張力の高速応答・高感度測定
  3. 張力計の設置スペースがないロール箇所の測定

開発経緯

従来の張力センサでは測定困難な真空・高温環境・極小ロールポイント・ 微小張力・高速応答などの張力制御を安定化させ、ウェブコントロールのクオリティアップに貢献する事を研究開発のテーマとしました。
コア技術であるSencor & Computerをベースに、小川創造技術研究所 小川倉一代表指導の下、経済産業省より「特定研究開発等計画(近畿0804019)」および「戦略的基盤技術高度化支援事業(平成20年度~22年度委託事業)」の採択を受け、独自の特許技術を確立し製品化。様々な難題や要求を解決・改善し、フィルムベースエレクトロニクスに貢献しております。

平成23年度一般社団法人日本真空学会「第36回真空技術賞」受賞
(テーマ:小型高性能力覚センサを用いたロールツーロールスパッタ装置用張力計測システム)